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ウエハアライナ

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AIGIS
OFH-4100i シリーズ 100~300mmウエハ用 ウエハ欠陥検出機能搭載アライナ

特長

  • アライメント中にウエハ外周部の欠け・バリを検出し、ウエハ欠陥による事故を未然に防止
  • 検査データはPC等に出力可能でウエハ欠陥の原因究明に利用可能

仕様

型式 Model OFH-4102i OFH-4100i
被搬送物 Applicable Wafer SEMI Standard Silicon Wafer with OF
Size:100~200mm
SEMI Standard Silicon Wafer with V-notch
Size:200,300mm
ウエハ保持方法 Wafer Holding Method ウエハ裏面の真空吸着 Vaccum Chuck
材質 Materials Body:White Annodized Aluminum, Connector Plate:Stainless Steel
Suction Base:PTFE Coated Aluminum or Ceramic
エッジ欠陥検査機能
Edge Inspection Function
最小検出サイズ Min.Detectable Size 幅1.0mm×深さ0.2mm以上の欠け・バリ
Crack or Burr:1.0mm(W)×0.2mm(D)
検査可能範囲 Detectable Area ウエハ外周
Wafer Edge
検査時のウエハセンターずれ許容値 半径7.0mm以内
7.0mm Radius or less(Wafer Centering Tolerance)
オリフラ合わせ時間(センタリング、検査時間含む) 4.1sec (Alignment Time including centering and edge inspection)
軸構成 Axis Configuration X-axis 前後軸 Anterior-posterior axis
Y-axis 左右軸 Left and Right axis
θ-axis 旋回軸 Rotation axis
動作範囲 Operation Area X-axis ±7.5mm
Y-axis 65mm
θ-axis エンドレス Continuous
位置決め精度 Accuracy X-direction ±0.1mm
Y-direction ±0.1mm
θ-direction ±0.2°
制御方法 Control シリアル通信 Serial Communication (RS-232C)
パラレル通信 Parallel Communication (Sequencer Control)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 Mass Approx. 8kg
必要緒元 Facilities 真空 Vacuum -80kPag, 10NL/min. or more
電源 Power 24 VDC 3A
周囲湿度 Humidity 60%RH or less (No condensation)
周囲温度 Temperature +15-25℃

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