Home>Products>Clean transfer robot>EFEM>Ophiuchus OPS-3100 series

EFEM

Contact Us

Ophiuchus
OPS-3100 series

EFEM

High speed, compact 3 port EFEM

Features

  • 300WPHの高スループットで、接続する装置のポテンシャルを最大化
  • コンパクトな筐体で生産ラインの省スペース化に貢献

Specifications

Model OPS-3100 Series
Outline Dimension 1955mm(W)
1235mm(D)
2230mm(H)
Applicable Wafer 300mm Silicon Wafer
(SEMI Standard E15.1)
Applicable Casette FOUP(SEMI Standard E47.1, E62)
FOSB
Throughput 300 WPH(w/Vacuum E/E)
220 WPH(w/Edge Grip E/E)
Cleanliness ISO Class 1 (ISO-14644)
Mass 750kg
HOST Communication I/F HSMS
Option Aligner, Ionizer, Safety Light Curtains etc.
Facilities Vacuum -80kPag or less, 40NL/min.
-60kPag±10%, 20NL/min.
CDA 0.52〜0.6MPag, 60NL/min.
Power Single Phase 200±10% VAC 20A
Environment Temp. 0-40°C
Humidity 70% or less (No condensation)

*1:4ポートモデル (OPS-4100 Series) についてはお問い合わせください。