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EFEM

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Ophiuchus
OPS-2300 series

EFEM

Compact 2 port EFEM

Features

  • 2FOUPにアクセスできるロボット搭載でY軸レス化を実現
  • ロボット・アライナの協調制御によりアライナを簡略化し、コストダウンを実現

Specifications

Model OPS-2300 Series
Outline Dimension 1424mm(W)
1217mm(D)
2000mm(H)
Applicable Wafer 300mm Silicon Wafer
(SEMI Standard E15.1)
Applicable Casette FOUP(SEMI Standard E47.1, E62)
FOSB
Throughput 180 WPH
Cleanliness ISO Class 1 (ISO-14644)
Mass 500kg
HOST Communication I/F HSMS
Option Aligner, Ionizer, Safety Light Curtains etc.
Facilities Vacuum -80kPag or less, 40NL/min.(for Robot and Aligner)
-60kPag±10%, 20NL/min.(for Load port)
CDA 0.52〜0.6Mpag, 60 NL/min.
Power Single phase 220V±10% VAC
Environment Temp. 0-40°C
Humidity 70% or less (No condensation)

*1:4ポートモデル (OPS-4100 Series) についてはお問い合わせください。